制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程

制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程 
 

超純水工藝流程圖

　　電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種：
　　1、采用離子交換樹(shù)脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→陽(yáng)床→陰床→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
　　2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進(jìn)行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設備→混床（復床）→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
　　3、采用反滲透水處理設備與電去離子（EDI）設備進(jìn)行搭配的的方式，這是一種制取超純水的新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟，發(fā)展潛力巨大的超純水制備工藝，其基本工藝流程為：原水→沙炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→后置精密過(guò)濾器→用水點(diǎn)
　
三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
　　 目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種，其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來(lái)。現將他們的優(yōu)缺點(diǎn)分別列于下面：
　　1、一種采用離子交換樹(shù)脂其優(yōu)點(diǎn)在于初投資少，占用的地方少，但缺點(diǎn)就是需要經(jīng)常進(jìn)行離子再生，耗費大量酸堿，而且對環(huán)境有一定的破壞。
　　2、二種采用反滲透作為預處理再配上離子交換設備，其特點(diǎn)為初投次比采用離子交換樹(shù)脂方式要高，但離子設備再生周期相對要長(cháng)，耗費的酸堿比單純采用離子樹(shù)脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。
　　3、三種采用反滲透作預處理再配上電去離子（EDI）裝置，這是目前制取超純水經(jīng)濟，環(huán)保用來(lái)制取超純水的工藝，不需要用酸堿進(jìn)行再生便可連續制取超純水，對環(huán)境沒(méi)什么破壞性。其缺點(diǎn)在于初投資相對以上兩種方式過(guò)于昂貴。